MIYUKI美幸輝 真空閥 AER-J150
MIYUKI美幸輝 真空閥 AER-J150
L 型閥
AB/AE/ABR/AER 系列
軸封方式(波紋管密封、O 形圈密封)可根據(jù)使用目的選擇。
16A~50A 可用于單作用和雙作用。
所有尺寸均與反壓兼容。
真空閥(Vacuum Valve)是專門用于真空系統(tǒng)中控制氣體流動、調(diào)節(jié)壓力或隔離真空環(huán)境的閥門。由于真空系統(tǒng)對密封性、材料放氣率和耐壓差有嚴格要求,真空閥的設計與普通閥門有顯著區(qū)別。
真空閥根據(jù)工作原理可分為:
截止型真空閥(如真空擋板閥、真空蝶閥)——用于切斷或接通氣流。
調(diào)節(jié)型真空閥(如真空微調(diào)閥、針閥)——用于控制氣體流量和壓力。
放氣閥(如真空破空閥)——用于向真空腔體引入大氣,平衡壓力。
真空閥廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、航天模擬、粒子加速器、醫(yī)療設備等領域,是真空系統(tǒng)不可或缺的關鍵組件。
真空閥的特點
特殊密封結構
金屬密封(如銅墊圈、無氧銅刀口密封)適用于高真空(UHV)環(huán)境,橡膠密封(如氟橡膠、丁腈橡膠)適用于中低真空。
無油設計
高潔凈真空閥采用干式(無潤滑)結構,避免油蒸氣污染真空環(huán)境,適用于半導體和光學鍍膜行業(yè)。
多種驅(qū)動方式
手動、氣動、電動或電磁驅(qū)動,適應不同自動化需求。
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