■極限真空度高的TG-MU系列

 ?在真空環(huán)境下，殘留氣體中*多的是氫氣等比較輕的氣體。通過提高輕氣體的排氣性能，實現(xiàn)較好的真空環(huán)境。
 ?如果初期排氣達到更好的真空環(huán)境的話，在殘留氣體較少的情況下實現(xiàn)制造加工工藝，提高產(chǎn)品品質(zhì)。