機(jī)械增壓泵是一種可以大幅提高泵送速度的泵。
通過(guò)與油旋片真空泵或干式泵等粗抽泵組合，可以在粗抽泵排氣速度下降的壓力范圍內(nèi)大幅提高排氣速度。
它被應(yīng)用于許多領(lǐng)域，包括半導(dǎo)體工藝、真空蒸餾、真空包裝、脫氣、薄膜、真空冶金、低密度風(fēng)洞實(shí)驗(yàn)、空間開(kāi)發(fā)、真空浸漬和真空干燥。

機(jī)械增壓泵的殼體內(nèi)有兩個(gè)繭形轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子安裝在軸端的驅(qū)動(dòng)齒輪上，以相反的方向同步旋轉(zhuǎn)。從進(jìn)氣口進(jìn)入的氣體被困在機(jī)殼與轉(zhuǎn)子之間的空間內(nèi)，隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)而從排氣口排出，再由下游級(jí)的輔助泵排入大氣。轉(zhuǎn)子在保持較小間隙（0.1至0.3毫米）的情況下旋轉(zhuǎn)并輸送氣體，而不會(huì)相互接觸或與殼體接觸，因此轉(zhuǎn)子室內(nèi)不需要潤(rùn)滑油。因此，可以實(shí)現(xiàn)油蒸氣污染較少的真空排氣。